質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品及廠家
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的ms流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的mems（ microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快。
更新時(shí)間:2025-09-10
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