高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱

   高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個(gè)箱體結(jié)構(gòu)分為：膛體組件、箱架組件和熱風(fēng)組件三個(gè)部分，膛體腔，內(nèi)表面全鏡面設(shè)計(jì)，風(fēng)道由左、右、后導(dǎo)風(fēng)板與箱體內(nèi)壁組合而成，膛體頂部有排風(fēng)管道。
高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱技術(shù)參數(shù)：
1. 最高溫度：450℃；可自定義
2. 工作室尺寸：450×650×450mm（W×H×D）；可自定義
3. 箱體數(shù)量:一個(gè)；可自定義兩箱、四箱
4. 腔體材料：SUS304鏡面不銹鋼；
5. 加熱元件：不銹鋼加熱器；
6. 熱電偶：國產(chǎn)，K分度；
7. 空箱升溫時(shí)間：每分鐘5度，全程平均；
8. 空箱降溫時(shí)間：300℃-90℃降溫時(shí)間為1.5小時(shí)左右(采用鼓風(fēng)冷翅片散熱器或氣體)；
9. 記錄儀:溫度和氧含量無紙記錄儀；
10. 氧含量-氧分析儀：
  高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
  低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
11. 溫度波動度：±1℃；
12. 溫度均勻度：±5%（300℃平臺）；
高溫?zé)o氧化烤箱，半導(dǎo)體制程烤箱基本配置：
1. 控制：每個(gè)箱體單獨(dú)控溫、通氣、報(bào)警保護(hù)；
2. 排風(fēng)口：一個(gè)；
3. 控溫儀表：日本理化FP23溫控儀；
4. 控溫段數(shù)：20×20段；
5. 控溫點(diǎn)數(shù)：一點(diǎn)；
6. 超溫報(bào)警點(diǎn)數(shù)：一點(diǎn)；
7. 檢測點(diǎn)數(shù)：三點(diǎn)；
8. 高溫開爐門保護(hù)：當(dāng)溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門
9. 報(bào)警保護(hù)：超溫、斷偶等聲光報(bào)警保護(hù)；
10. 超溫保護(hù)：獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器；
11. 電機(jī)保護(hù)：電機(jī)過電流、過熱保護(hù)；                      
12. 表面溫升：＜30℃；
13. 加熱功率：15kW；   
14. 保溫功率： ≤9kW；
15. 電源：容量大于80KVA，3相5線，220/380VAC，50Hz；

        上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測設(shè)備、電線電纜檢測設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的一致好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)！
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