百潔凈烤箱,無塵烘箱@索引2023產(chǎn)品簡介http://www.soie.cn/c62303/products/d13089224.html
無氧化干燥烘箱,HMDS潔凈烘箱,HMDS涂膠烘箱,HMDS預(yù)處理烘箱,HMDS無塵烘箱,HMDS真空系統(tǒng)
一.百潔凈烤箱,無塵烘箱概述
百潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
二.百潔凈烤箱,無塵烘箱特點(diǎn)
Ø 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等達(dá)到Class 100;
Ø 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
Ø 采用單面水平由后向送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
Ø 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到佳溫度控制精度。
三.百潔凈烤箱,無塵烘箱技術(shù)參數(shù)
1.主要技術(shù)指標(biāo)
Ø 無塵等:Class 100;
Ø 溫度范圍:RT+10~200、300℃;
Ø 溫度均勻度:±2℃;
Ø 溫度波動度:±0.5℃(空載);
Ø 溫控精度:±0.1℃;
Ø 進(jìn)風(fēng)口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;
Ø 排風(fēng)口: φ3”排風(fēng)管;
Ø 電源:380v , 50Hz;
Ø保護(hù)裝置:超溫保護(hù),漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置(上限220℃)、 電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流
保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺異常蜂鳴器警示、門面安全開關(guān)。
Ø 網(wǎng)板:2-5層,不銹鋼加工圓孔托盤 , 載重量可承重50kg;
Ø 潔凈度:100的潔凈熱處理HEPA過濾器與出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100潔凈度。
★選裝配件:多點(diǎn)巡檢儀、溫度記錄儀、千層架或推車、電磁鎖等。
四.常用規(guī)格

注:若無滿足型號規(guī)格,可提供訂制。
上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烤箱,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測設(shè)備、電線電纜檢測設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實(shí)驗(yàn)室儀器的技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能、航空航天等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)秀的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的一致好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)!
主要業(yè)務(wù)項(xiàng)目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烤箱,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜加工設(shè)備,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,環(huán)境檢測儀器,實(shí)驗(yàn)室研究儀器,橡塑檢測儀器,電纜檢測儀器設(shè)備,半導(dǎo)體工藝設(shè)備,力學(xué)檢測儀器,通訊檢測儀器,常規(guī)檢測儀器等。
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