OAP烘箱，OAP處理烘箱

   光刻的作用是把掩模版上的各形轉(zhuǎn)換成晶圓十的器件結(jié)構(gòu)，它對集成電路圖形結(jié)構(gòu)的形成，如各層薄膜的各形及摻雜區(qū)域等，均起著決定性的作用。光刻的基本流程中關(guān)鍵一步，處理就是需要將基片親水性改為疏水性，即OAP(HMDS預(yù)處理)工藝。

OAP烘箱，OAP處理烘箱簡介

   OAP處理烘箱，也稱為HMDS烘箱、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。用HMDS溶液:六甲基二硅胺烷)成底膜進(jìn)行表面處理，它起到提高粘附力的作用，在硅片成底膜操作后盡快涂膠。OAP烘箱是采用氣相成底膜的方式來完成HMDS的涂覆工藝，優(yōu)點是，整個工藝在密閉的環(huán)境中，外界沒有與硅片接觸減少了來自液體HMDS顆粒沾污的可能，HMDS的消耗量也小。

OAP烘箱指標(biāo)

HMDS藥液泄漏報警提示功能

HMDS低液位報警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

HMDS管道預(yù)熱功能

程序鎖定保護(hù)等功能

尺寸（深*寬*高）

內(nèi)腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）

材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用不銹鋼

溫度范圍：RT+50-200℃

溫度波動度：≤±0.5

真空度：≤1torr

HMDS控制：可控制HMDS 藥液添加量

真空泵：無油渦旋真空泵

        上海雋思實驗儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測設(shè)備、電線電纜檢測設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實驗室儀器的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的一致好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)！
       主要業(yè)務(wù)項目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，無氧化烘箱，真空無氧烤箱，氮氣烘箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，高精度加熱臺，精密恒溫?zé)岚�，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導(dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，超低溫試驗箱，超低溫沖擊試驗箱，-150度高低溫試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，真空烘箱，熱風(fēng)真空烤箱，環(huán)境檢測儀器，實驗室研究儀器，橡塑檢測儀器，電纜檢測儀器設(shè)備等。